講一講微流控芯片刻蝕過程相關(guān)注意事項

　　由于微流控芯片的構(gòu)件尺寸和細胞吻合，并可同時測定物理量、化學量和生物量，它已成為對哺乳動物細胞及其微環(huán)境進行操控的*潛力的平臺，可以用于仿生實驗室。目前已可以構(gòu)建微米量級且相對封閉的三維細胞培養(yǎng)、分選、裂解等操作單元，并把這些單元成功延伸到組織和器官。器官芯片是一種更接近仿生體系的模式，可在一塊幾平方厘米的芯片中培養(yǎng)各種活體細胞，形成組織器官，乃至由不同器官芯片進一步組成活體芯片，從而模擬一個活體的行為并研究活體中整體和局部的種種關(guān)系。在藥學領(lǐng)域，器官芯片將被部分替代小白鼠等模型動物，用于驗證候選藥物，開展毒理和藥理作用研究。

　　微流控芯片刻蝕過程相關(guān)注意事項：

　　光刻板制好后就可以進行常規(guī)的光刻刻蝕工藝了，一般做微流控芯片的刻蝕深度都比較深，有時候可能需要先做一層硬掩模，厚度與刻蝕深度相關(guān)。刻蝕的時候一般選擇等離子體刻蝕進行加工，對于不同的材料選擇不同的氣源。等離子體刻蝕是一種以化學反應(yīng)為主的干法刻蝕工藝，刻蝕氣體分子在高頻電場作用下，產(chǎn)生等離子體。等離子體中的游離基化學性質(zhì)十分活潑，利用它和被刻蝕材料之間的化學反應(yīng)，達到刻蝕芯片的目的。